[微細加工されたシリコン懸濁液を用いた小型電気力学的ワイヤレス電力伝送受信機] tech./dosim.

Miniature Electrodynamic Wireless Power Transmission Receiver Using a Micromachined Silicon Suspension

掲載誌: J Microelectromech Syst 2021; 30 (1): 144-155

ばく露