Improved Reference-Free Vibration-Suppressed Optical MEMS Electric Field Strength Sensor tech./dosim.

[Verbesserter referenzfreier, vibrationsdämpfender optischer MEMS-Sensor für elektrische Feldstärke]

Von: Kainz A, Steiner H, Hortschitz W, Schalko J, Jachimowicz A, Keplinger F
Veröffentlicht in: 2019 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), Berlin, Germany. IEEE, 2019: 2114-2117; ISBN 978-1-5386-8105-3
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